凍干機EH2600愛德華真空羅茨泵維修

半導體加工
我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及世界每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。

應用

●真空冶金加工
●薄膜覆層技術
●制藥冷凍干燥
●冷凍和空調系統(tǒng)抽空、干燥和回填
●變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠
●燈具制造
●低溫容器抽空
●化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾
●半導體設備制造
●用于高真空應用的前級泵

潔凈的真空
腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運作
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運作。

用途
•  照明、電子、光學、半導體。
•  鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
•  真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
•  真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。
•  分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備。

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